被抽气体的流道依次经过主级罗茨泵、中间罗茨泵、止回阀、水环式真空泵后，抽气工作过程结束后，经连接管道进入汽液分离器。气液分离后，气体上升，通过上段冷凝器后，部分冷凝介质回到汽液分离器。汽液分离器内置冷却盘管，冷却后补液至水环式真空泵。

　　杭州新安江工业泵有限公司设计的罗茨水环式成套真空机组具有耐腐蚀性能强，溶剂回收等特点。对整套设备设置防返流装置和清洗阀装置。同时采用电接点压力表、真空表来控制罗茨真空泵的启动和停止，最大限度的保障了罗茨泵的使用寿命。